| 磁気式スペースセンサー （渦電流式磁気変位センサー） |
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| センサコイルに高周波電流を流して、高周波磁界を発生させます。この磁界内に金属板がありますと、電磁誘導作用によって金属表面に渦電流が発生して、センサコイルの発振振幅が小さくなります。この振幅を整流して直流電圧の変化とし取り出すセンサです。 取り出した信号と距離の関係をリニアライズ回路で直線性の補正を行いますと、リニアな出力が得られます。 このセンサの特長としては、 @センサ自体に可動部がないこと。 A静止状態から１０ＫＨｚ程度の高周波まで対応できること。 B距離なら距離の変化をμ単位で計測できること。 |
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